棱镜耦合系统和方法包括以下步骤:使用棱镜耦合系统来收集具有折射率分布的化学强化制品的初始的TM和TE模式光谱,该折射率分布具有近表面尖峰区域和深部区域。该棱镜耦合系统具有配置为产生具有不同的测量波长的顺序测量光束或反射光束的光源。不同的测量波长产生不同的TM和TE模式光谱。该光源可以包括多个发光元件和滤光器,或宽带光源和滤光器。可以将滤光器依次安插到该棱镜耦合系统的输入光路径或输出光路径中。
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