合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 多晶硅SOI基板型光电耦合器、其集成电路及制备方法

多晶硅SOI基板型光电耦合器、其集成电路及制备方法

904   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:30:16
本发明公开了一种多晶硅SOI基板型光电耦合器，包括作为衬底硅的第一衬底、作为SiO2中间层的第一介质层和顶层多晶硅，顶层多晶硅通过低压力化学气相沉积法淀积在第一衬底上；光电耦合器包括制作在第一衬底中的硅光探测器、第一介质层以及制作在顶层多晶硅中的多晶硅光源。本发明还公开了上述光电耦合器的制作方法，并进一步公开了上述光电耦合器的集成电路及其制作方法。本发明的多晶硅光源与硅光探测器轴向排布，面积小、制造成本低，具有较高的光传输效率和集成度；本发明的光电耦合器可以与电路集成在同一个衬底上，多晶硅光源与硅光探测器轴向堆叠，进一步降低了制造成本，具有较高的集成度。本发明适用于光电耦合器的集成技术领域。
声明：
“多晶硅SOI基板型光电耦合器、其集成电路及制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：金属腐蚀演化的模拟方法及系统
下一个：多区带集成海水环境试验装置

与 “多晶硅SOI基板型光电耦合器、其集成电路及制备方法” 相关技术

▪ 斗轮上料磁选车
▪ 新型重金属螯合絮凝剂的制备技术
▪ 活塞式内燃机中活塞环用合金材料
▪ 降低铝电解阳极效应的控制方法
▪ 稀土绿色萃取分离技术
▪ 年产250吨电子级低氧超高纯钛
▪ 低成本太阳能多晶硅制备技术
▪ 用于负极材料的纳米硅粉制备及产业化应用技术研发
▪ 具有除铁功能的粉碎机
▪ 具有防尘效果的振动筛下料装置

相关化学分析设备推荐

脚踏劈裂式土壤采样器
便携式盐度/钠度测定仪
台阶仪
多气体检测仪
土壤养分速测仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪斗轮上料磁选车
▪新型重金属螯合絮凝剂的制备技术
▪活塞式内燃机中活塞环用合金材料
▪降低铝电解阳极效应的控制方法
▪稀土绿色萃取分离技术
▪年产250吨电子级低氧超高纯钛
▪低成本太阳能多晶硅制备技术
▪用于负极材料的纳米硅粉制备及产业化应用技术研发
▪具有除铁功能的粉碎机
▪具有防尘效果的振动筛下料装置

报名参会
更多+

冶金工业大气污染治理与低碳减排新技术论坛
冶金工业大气污染治理与低碳减排新技术论坛
2024年07月25日 ~ 27日
中国有色金属冶金第八届学术会议
中国有色金属冶金第八届学术会议
2024年07月26日 ~ 28日
2024高分子材料合成与表征技术研讨会
2024高分子材料合成与表征技术研讨会
2024年08月01日 ~ 03日
第三届全国先进功能材料制备/加工及应用技术交流会
第三届全国先进功能材料制备/加工及应用技术交流会
2024年08月16日 ~ 18日
第十七届东亚资源再生技术国际会议
第十七届东亚资源再生技术国际会议
2024年11月01日 ~ 04日

报告下载

1 实验室管理与实践
下载:52
2 化学实验室暖通系统设计新趋势
下载:50
3 矿产品样品制备要点与难点分析
下载:44
4 质检部门风险防控管理的探讨 （矿
下载:41
5 ICP-MS/MS测定有色金属中
下载:37
6 电位滴定法在北矿检测实验室的应
下载:33
7 浅谈检验检测风险防控管理及要点
下载:32
8 电位滴定仪在有色金属分析的应用
下载:32
9 国家标准《铜精矿及主要含铜物料
下载:32
10 全面禁止洋垃圾入境形势下的固废
下载:32
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1压力平衡机构
2水电站的尾水预埋件
3防爆阀保护膜
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记