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多工位气相合成金刚石膜装置

829   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:30:15
本实用新型属于化学气相沉积技术,涉及一种由六套单元系统构成的多工位气相合成金刚石膜装置,各单元系统分别由充气系统、排气系统和反应室等连接构成,六单元系统并联成结构相同、工作相对独立且便于控制的六工位整机装置,氢气和甲烷充气系统并联后接入反应室,反应室内的灯丝安装和更换采用专用工装设备,制有辅助排气管路便于故障检修,具有结构新颖,性能可靠,产量高,质量好,便于维修等优点,可用于厚金刚石膜置备。
声明：
“多工位气相合成金刚石膜装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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