碳源可控单壁
碳纳米管阵列的制备装置,该装置包括:气体管路控制部分,高温管式实验主体,尾气吸收处理装置。气体管路控制部分包括气体流量计、开关阀、液体容器、导气管;高温管式实验主体主要包括法兰、高温管式炉、石英管、基片。气体管路控制部分的导气管最终指向石英管。石英管两端塞紧法兰,法兰上留有导气管连通孔。石英管外壁设有高温管式炉,石英管内部中间处放有基片,石英管另一端通过导气管连接尾气处理装置。本装置具有的优点是改进传统的化学气相沉积方法(CVD),实现碳源可控,减少更换碳源装置的繁琐,以及改装碳源装置后续繁琐的检查气密性工作,节约时间,提高效率和准确性。
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