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研磨垫修整器及研磨装置

968   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:30:14
本实用新型公开一种研磨垫修整器及研磨装置，通过在研磨盘上设置有可拆卸连接的信号探测器，当研磨垫修整器在进行修整作业时，扭力传感器采集信号探测器中的摩擦力探头与研磨垫接触时所产生的压力信号，之后将压力信号显示于监测器上，由监测器所显示波形的状态即可得知研磨垫的表面的状况，根据研磨垫的表面的状况可以获知研磨垫修整器对研磨垫的修整情况，同时可以根据实际情况选择更换研磨垫，避免了采用现有技术获知研磨垫的表面的状况需要耗费大量的人力物力的问题，提高了进行化学机械研磨时产品的良率。
声明：
“研磨垫修整器及研磨装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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