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柔性气体传感设备

1111   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:30:13
本实用新型公开了一种柔性气体传感设备，其包括柔性敏感测试单元以及柔性封装单元，所述柔性封装单元包括具有透明窗口的柔性盖板，所述柔性盖板与所述柔性敏感测试单元密封结合形成一封装腔室，封装腔室与设置在柔性盖板上的至少一个气孔连通；柔性敏感测试单元包括依次叠层设置在柔性衬底上的绝热层、加热层、导热绝缘层以及气体敏感结构，气体敏感结构还与测试电极电连接；其中，至少所述气体敏感结构被设置在所述封装腔室中。本实用新型提供的柔性气体传感设备将全印刷工艺与半导体氧化材料相结合，不需经过光刻等工艺，避免了高温或化学腐蚀液体对柔性衬底或器件的损伤。
声明：
“柔性气体传感设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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