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三角形结构的微悬臂梁传感器及其制作方法

954   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:28:33
本发明公开了一种三角形结构的微悬臂梁传感器,该传感器包括:用于支撑悬臂梁的衬底框架;至少一个固定于衬底框架上的悬臂梁结构;固定在构成所述悬臂梁结构的两个悬臂梁交叉成锐角端的反光板。本发明同时公开了一种三角形结构微悬臂梁传感器的制作方法。利用本发明,提高了测量的精度,在使用光学读出的系统中,使测量结果更加精确,并提高了成品率,易于实现大规模生产;在生物化学量的测量中,特别是在液体环境下的测量,可以得到广泛的应用。
声明：
“三角形结构的微悬臂梁传感器及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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