合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 用于MOCVD系统中控制外延片温度及均匀性的装置与方法

用于MOCVD系统中控制外延片温度及均匀性的装置与方法

1030   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:28:33
一种用于MOCVD系统中控制外延片温度及均匀性的装置,托盘上方沿径向设置一组非接触、发光补偿的光学温度计,反馈托盘上多个环状区域内单个或多个外延片的温度。温度控制器以外延片温度的统计平均值与外延工艺规定温度的差异最小为目标,独立控制托盘下方的若干加热元件的功率输出。每个环状区域内的多个外延片,由下方一个或相邻多个环状排列、径向覆盖面积较小的加热元件来对应加热,在不同温度的工艺条件下,能有效平衡外延片及托盘在径向的热量流失,实现对单个外延片和相邻外延片之间温度及均匀性的精确与稳定的控制。本发明还通过设置接触式热电耦温度计来测量加热器温度,作为外延工艺规定温度的参照点,同时监测加热器是否正常工作。
声明：
“用于MOCVD系统中控制外延片温度及均匀性的装置与方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：高浓磨浆系统纸浆质量控制方法及系统
下一个：贯入仪

与 “用于MOCVD系统中控制外延片温度及均匀性的装置与方法” 相关技术

▪ 干选精矿选矿筛分装置及其筛分方法
▪ 钨矿选矿筛分装置及方法
▪ 冶金固废高附加值综合利用技术分析
▪ 圆锥破碎机进料斗的防尘布料装置
▪ 空间用多结太阳电池及其制备方法
▪ 用于固态电池的复合层合结构及其制备方法
▪ 新疆天山大型-超大型砂砾岩型铜铅锌矿床的成矿特征及研究进展
▪ 大面积钙钛矿太阳能电池的连续制备生产线及方法
▪ 高效工业废气处理工艺
▪ 节能高效的高浓度有机废气处理系统及方法

相关化学分析设备推荐

IST便携式多气体检测仪 CO/NO/NO2/O2 美国
多气体检测仪
土壤肥料养分分析仪
泄漏检测与修复
便携式土壤墒情监测系统
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪干选精矿选矿筛分装置及其筛分方法
▪钨矿选矿筛分装置及方法
▪冶金固废高附加值综合利用技术分析
▪圆锥破碎机进料斗的防尘布料装置
▪空间用多结太阳电池及其制备方法
▪用于固态电池的复合层合结构及其制备方法
▪新疆天山大型-超大型砂砾岩型铜铅锌矿床的成矿特征及研究进展
▪大面积钙钛矿太阳能电池的连续制备生产线及方法
▪高效工业废气处理工艺
▪节能高效的高浓度有机废气处理系统及方法

报名参会
更多+

2024中国高纯石英资源开发利用大会
2024中国高纯石英资源开发利用大会
2024年12月13日 ~ 15日
2024盐湖资源综合利用与绿色发展创新论坛
2024盐湖资源综合利用与绿色发展创新论坛
2024年12月13日 ~ 15日
2024磷资源高值利用创新发展论坛暨第二届磷酸锰铁锂技术交流会
2024磷资源高值利用创新发展论坛暨第二届磷酸锰铁锂技术交流会
2024年12月13日 ~ 15日
全国冶金矿产固废资源化第五届学术会议
全国冶金矿产固废资源化第五届学术会议
2024年12月13日 ~ 15日
特种粉末冶金及复合材料制备/加工第八届学术会议
特种粉末冶金及复合材料制备/加工第八届学术会议
2024年12月27日 ~ 29日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:135
2 取、制样安全浅析
下载:121
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:97
4 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:91
5 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:91
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:89
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:86
8 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:83
9 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:83
10 制样室装修设计技巧
下载:81
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记