本发明涉及一种在透射电子显微镜中原位施加应力的方法,基于自主设计的原位四电极电学
芯片,利用聚焦离子束刻蚀加工技术,将测试材料与典型压电晶体材料组装成微米级条带;使用聚焦离子束中沉积的铂连接测试材料与芯片上的两个电极,也将另外两个电极连接到压电陶瓷材料两端;使用原位样品杆将测试样品放入透射电镜中,对压电晶体施加电压,利用其特有的压电效应实现对测试样品定量施加压应力/拉应力,同时记录应力对于测试材料电学性能、
电化学性能、磁学性能等影响。该方法制备样品简单,施加应力精确可控,可同时对样品施加拉应力和压应力,具有很好的普适性,为研究材料中应力与性能之间的关联性提供新的方法。
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