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用于调整半导体设备的喷嘴位置的装置

962   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:23:06
本实用新型涉及半导体制造领域，特别涉及一种用于调整半导体设备的喷嘴位置的装置。包括用于夹持喷嘴的夹具和用于发射激光光束的激光头，所述激光头一端为激光发射端，所述激光发射端发出的激光光束与所述喷嘴喷吐方向相同；所述激光头另一端与所述夹具相连接，所述夹具与所述激光头同轴设置；所述夹具包括容纳所述喷嘴的夹头和设置在夹头上用于调整所述喷嘴位置的固定螺丝。本实用新型的装置为化学品喷嘴的定位提供直观、准确的参照，在喷嘴喷涂过程中，不再需要通过目测或者在晶圆上进行反复喷涂试验来验证喷嘴位置，操作简单，不仅可以大幅提高工作效率和喷涂质量，而且可以节约化学品成本。
声明：
“用于调整半导体设备的喷嘴位置的装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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