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结构优化的半导体沉积用前驱体容器

1093   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:23:06
本实用新型提供了一种结构优化的半导体沉积用前驱体容器，包括进口管路、出口管路、吹扫管路、导波雷达液位计以及容器，容器内壁经过钝化处理；进口管路与出口管路均与容器内部连通，吹扫管路连通进口管路与出口管路；导波雷达液位计设置在容器上，导波雷达液位计通过连接件连接容器；进口管路上在进口管路与吹扫管路的连接点和进口管路的两端之间均设置有阀门，出口管路上在出口管路与吹扫管路的连接点和出口管路的两端之间均设置有阀门，吹扫管路上设置有阀门。本实用新型有效减少生产管路中化学品的残留，避免了颗粒物的产生，提高了生产的稳定性和良品率；采用导波雷达液位计能够精确测量化学品液位，增加产品使用率，提高生产管理效率。
声明：
“结构优化的半导体沉积用前驱体容器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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