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单一取向锌镓氧薄膜及其制备方法

890   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:23:05
本发明提供了一种单一取向ZnGa2O4薄膜的制备方法，包括以下步骤：以有机锌化合物作为锌源，有机镓化合物作为镓源，以高纯氧气为氧源，利用金属有机化合物化学气相沉积法在衬底表面沉积ZnGa2O4薄膜。本发明提供的单一(111)取向ZnGa2O4薄膜的制备方法，其利用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)技术，以有机锌化合物作为锌源，有机镓化合物作为镓源，以高纯氧气为氧源，通过生长温度、锌源、镓源和氧气流量的精确控制，实现了高质量单一(111)取向尖晶石结构ZnGa2O4薄膜的生长，为实现高性能日盲紫外光探测器提供了便捷有效的手段。
声明：
“单一取向锌镓氧薄膜及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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