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硅基光子材料器件制备方法

721   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:23:05
本发明提供了一种硅基光子材料器件制备方法，具体包括以下步骤：a)通过特殊方式加工制作出具有高密度和小尺寸的有序硅纳米晶粒；b)通过光刻工艺的方式对晶粒进行加工；c)采用UHV/CVD在硅衬底上生长Ge量子点；d)对加工过后的晶粒掺杂化学混合元素；e)利用步骤d)制备得到的晶粒形成光开关阵列构成光波导开关；f)化学研磨与物理成型；g)对加工出的硅基光子电路板进行晶粒探针测试。本发明的制备方法可获得热导性好、电学性能好的硅基光子材料器件，且制备方法简单、成本低廉、工艺可靠。
声明：
“硅基光子材料器件制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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