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磁阻器件、巨磁阻器件及其制造方法

734   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:23:04
公开了一种磁阻传感器(30)和一种用电化学淀积来生产磁阻传感器(30)的方法。用导电涂层(12)涂敷绝缘基底(11),以准备电化学淀积、电镀用的绝缘基底。导电涂层(112)稍后被图形化,以防止金属区短路。用金属层(131)和磁性合金对导电涂层进行电镀。对此层进行腐蚀以形成4个被互连成惠斯登电桥(473)结构的分隔开的区域,以便形成能够探测外加磁场(100)变化的传感器。在某些实施例中,为了提高传感器的灵敏度,各个磁性层被非磁性层(114)分隔开。在其它的实施例中,增加了磁极片元件,以便将磁场聚焦到4个区域中的二个上。
声明：
“磁阻器件、巨磁阻器件及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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