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自动决定反应炉管的清洁过程终点的方法

992   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:23:04
本发明涉及一种自动决定反应炉管的清洁过程终点的方法,其适用于低压化学气相沉积机台。本发明的方法为,将清洁气体导入反应炉管中,使清洁气体在特定温度下产生化学反应。然后,连续量测反应炉管的多个位置的温度。接着,监控上述位置其中之一的温度变化,直至温度收敛到特定温度的允许偏差值内。继而,监控全部的上述位置的温度变化,至温度收敛到特定温度的允许偏差值内。接着,进行一段时间的过蚀刻步骤,即停止反应炉管的清洁过程。
声明：
“自动决定反应炉管的清洁过程终点的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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