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高效晶硅异质结太阳能电池的TCO镀膜工艺方法

879   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:23:04
本发明涉及的一种高效晶硅异质结太阳能电池的TCO镀膜工艺方法，它包括以下内容：N型硅衬底进行制绒、清洗处理；通过PECVD制备双面本征非晶硅层；选取N型非晶硅膜为受光面掺杂层，使用等离子体增强化学气相沉积制备N型非晶硅掺杂层；使用等离子体化学气相沉积制备P型非晶硅掺杂层；使用RPD方法沉积TCO导电膜，镀膜时工艺腔内通入固定流量的Ar、H2混合气体；通过丝网印刷形成正背面Ag电极；固化使得银栅线与TCO导电膜之间形成良好的欧姆接触；进行测试电池的电性能。本发明提升载流子迁移率与透光性、降低方租，进而提高电池的电流及填充因子，进而提高电池的电性能。
声明：
“高效晶硅异质结太阳能电池的TCO镀膜工艺方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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