合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 顶层金属互连层的制造方法

顶层金属互连层的制造方法

911   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:23:04
本发明提供一种顶层金属互连层的制造方法，包括：提供半导体衬底，在所述半导体衬底上形成器件结构，并在所述器件结构上形成若干层底层金属互连层；利用电镀工艺，在所述若干层底层金属互连层上形成顶层金属互连层，所述顶层金属互连层的晶粒尺寸小于1μm；接着，直接对所述顶层金属互连层进行化学机械研磨工艺；在所述顶层金属互连层上覆盖钝化层。本发明所述顶层金属互连层的制造方法，能够避免顶层金属互连层晶粒尺寸增加，使晶体尺寸控制在小于1μm的范围之内，从而在保持半导体器件的晶圆导通测试合格率同时，保证在化学机械研磨工艺过程中，提高顶层金属互连层的机械抗压力，避免半导体器件发生断裂、坍塌等问题，进一步提高产品良率。
声明：
“顶层金属互连层的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：用于制造复合隔膜的方法
下一个：漫反射板的制作方法及漫反射板

与 “顶层金属互连层的制造方法” 相关技术

▪ 基于矿浆体系固-液界面化学调控的矽卡岩型白钨矿浮选调控技术
▪ 对转炉渣进行脱磷的方法
▪ Xilun直接还原法
▪ 露天矿无人采矿装备及智能管控一体化关键技术
▪ CTX快速磁翻转高场强磁滚筒
▪ 电解锰渣制备绿色免烧胶凝建材技术
▪ 智能撬装式氩气回收装备
▪ 烟气低温SCR脱硝技术
▪ 闪速流态化焙烧设备制备高活性稀土化合物
▪ 陶瓷颗粒增强钢铁基复合材料制备技术及应用

相关化学分析设备推荐

泵吸五合一多气体检测仪
在线式硫化氢检测仪
土壤水分测量自动监测站
英国GMI GT-43 多气体检测仪
萤石分析仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪基于矿浆体系固-液界面化学调控的矽卡岩型白钨矿浮选调控技术
▪对转炉渣进行脱磷的方法
▪Xilun直接还原法
▪露天矿无人采矿装备及智能管控一体化关键技术
▪CTX快速磁翻转高场强磁滚筒
▪电解锰渣制备绿色免烧胶凝建材技术
▪智能撬装式氩气回收装备
▪烟气低温SCR脱硝技术
▪闪速流态化焙烧设备制备高活性稀土化合物
▪陶瓷颗粒增强钢铁基复合材料制备技术及应用

报名参会
更多+

2024先进陶瓷材料制备加工与应用交流会
2024先进陶瓷材料制备加工与应用交流会
2024年08月08日 ~ 10日
第三届全国先进功能材料制备/加工及应用技术交流会
第三届全国先进功能材料制备/加工及应用技术交流会
2024年08月16日 ~ 18日
2024钠电产业技术创新与应用高峰论坛
2024钠电产业技术创新与应用高峰论坛
2024年08月19日 ~ 21日
2024中国铅锌产业科技大会
2024中国铅锌产业科技大会
2024年09月19日 ~ 21日
2024全国高温合金材料制备与应用技术交流会
2024全国高温合金材料制备与应用技术交流会
2024年09月20日 ~ 22日

报告下载

1 实验室管理与实践
下载:53
2 化学实验室暖通系统设计新趋势
下载:50
3 矿产品样品制备要点与难点分析
下载:45
4 质检部门风险防控管理的探讨 （矿
下载:42
5 ICP-MS/MS测定有色金属中
下载:38
6 电位滴定仪在有色金属分析的应用
下载:34
7 电位滴定法在北矿检测实验室的应
下载:33
8 浅谈检验检测风险防控管理及要点
下载:33
9 国家标准《铜精矿及主要含铜物料
下载:32
10 全面禁止洋垃圾入境形势下的固废
下载:32
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1水电站的尾水预埋件
2压力平衡机构
3防爆阀保护膜
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记