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Cr2O3晶体的制备方法

631   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:23:04
本发明涉及一种Cr2O3晶体的制备方法，包括如下步骤：以铬前体材料为反应源，以卤素为辅助材料，将衬底置于生长区；以及在常压和保护气体氛围下，以氢气和所述保护气体的混合气体作为工作气体，加热衬底和所述反应源，在所述衬底上化学气相沉积形成Cr2O3晶体。经过测试验证，上述Cr2O3晶体的制备方法通过卤素(碘)辅助控制化学气相沉积方法，制得的Cr2O3晶体的横向尺寸达到微米级(3μm～5μm)。
声明：
“Cr2O3晶体的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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