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柔性基底微晶硅薄膜的快速、均匀制备方法

767   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:23:04
一种柔性基底微晶硅薄膜快速、均匀制备的方法,具体步骤:(1)将柔性基底置于真空腔室内;(2)所述柔性基底通过辉光等离子体清洗活化提高镀制膜层的附着力;(3)采用热丝辅助甚高频等离子增强化学气相沉积方法沉积微晶硅薄膜。本发明创新性地采用热丝辅助甚高频等离子体增强化学气相沉积方法,在低温下实现柔性基底高质量、高沉积速率、均匀性好的微晶硅薄膜的制备。应用于薄膜太阳电池,可以有效地提高电池稳定性和效率。柔性微晶硅薄膜太阳电池具备高质量比功率、轻质、可弯曲、不易损坏等显著特点,在平流层飞艇、无人机、微小卫星、深空探测卫星、空间电站以及地面军事智能化装备等方面具有非常广泛的应用前景。
声明：
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