合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> LED芯片Sputter‑ITO腐蚀工艺

LED芯片Sputter‑ITO腐蚀工艺

1125   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:23:03
本发明提供一种LED芯片Sputter‑ITO腐蚀工艺，包括以下步骤：(1)选取外延片，清洗后进行P‑SiO2层的沉积，再进行黄光P‑SiO2制程，光刻出所需图形；(2)通过浸泡BOE溶液化学湿法腐蚀SiO2，去除光刻胶，再进行酸洗、甩干；(3)进行Sputter‑ITO溅镀，然后进行黄光光刻所需图形；(4)化学湿法蚀刻后，清洗完成后甩干，进行ICP刻蚀，去除光刻胶后清洗、甩干；(5)再进行RTA高温退火熔合；(6)然后进行钝化SiO2层的沉积、PN黄光光刻，金属蒸镀后去除光刻胶，再金属熔合，最后完成点测。本发明将取消Sputter‑ITO过腐蚀，在ITO膜溅镀完成后先经过黄光光刻，再固定ITO的腐蚀时间，这样就避免了由于ITO膜过腐蚀所造成的腐蚀过现象。
声明：
“LED芯片Sputter‑ITO腐蚀工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：宽频带深红光转换材料及其制备方法
下一个：提取组织液的方法

与 “LED芯片Sputter‑ITO腐蚀工艺” 相关技术

▪ 快速熔炼中频炉
▪ 真空炉熔炼室内中频炉体翻转支撑装置
▪ 功能性含氟纳米磁珠的制备方法及应用
▪ 低密度高导热铜基石墨热沉材料的制备方法
▪ 地下铲运机及其智能驾驶系统和控制方法
▪ 侧翻式铲运车铲斗
▪ 顶板破碎中厚及以上矿体的回采方法
▪ 矿硐巷道掘进开采方法
▪ 废弃电路板的湿法冶金技术
▪ 提高有价金属回收率的铅锌矿选矿方法

相关化学分析设备推荐

液压过滤器 机油滤清器多次通过试验台 多气体检测仪
土壤元素检测仪 土壤测试仪
便携式氨气检测仪 多气体检测仪
定深式采泥器 土壤采样器
土壤含氧量仪 土壤监测仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪快速熔炼中频炉
▪真空炉熔炼室内中频炉体翻转支撑装置
▪功能性含氟纳米磁珠的制备方法及应用
▪低密度高导热铜基石墨热沉材料的制备方法
▪地下铲运机及其智能驾驶系统和控制方法
▪侧翻式铲运车铲斗
▪顶板破碎中厚及以上矿体的回采方法
▪矿硐巷道掘进开采方法
▪废弃电路板的湿法冶金技术
▪提高有价金属回收率的铅锌矿选矿方法

报名参会
更多+

特种粉末冶金及复合材料制备/加工第八届学术会议
特种粉末冶金及复合材料制备/加工第八届学术会议
2024年12月27日 ~ 29日
2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024年12月27日 ~ 29日
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025年01月03日 ~ 05日
2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025年01月03日 ~ 05日
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2025年04月27日 ~ 29日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:135
2 取、制样安全浅析
下载:123
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:98
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:92
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:91
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:89
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:86
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:85
9 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:84
10 制样室装修设计技巧
下载:83
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记