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带有多层反射膜的闪烁体阵列及其制备方法和应用

941   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:23:03
本发明涉及辐射探测技术领域，具体涉及一种带有多层反射膜的闪烁体阵列及其制备方法和应用。本发明提供的带有多层反射膜的闪烁体阵列的制备方法，包括以下步骤：在原位制备的闪烁体阵列表面沉积高反膜，得到带有多层反射膜的闪烁体阵列；所述沉积的方法包括原子层沉积法、物理气相沉积法和化学气相沉积法中的一种或几种。本发明通过采用原子层沉积法、物理气相沉积法或化学气相沉积法在闪烁体阵列的表面沉积高反膜，能够同时对闪烁体阵列中的所有闪烁体条进行镀膜，无需对每个闪烁体条单独镀膜，能够节省制造成本，提高生产效率，且能够适应小尺寸的闪烁体阵列。
声明：
“带有多层反射膜的闪烁体阵列及其制备方法和应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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