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钛材质坩埚的洗净再生方法

967   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:20:20
本发明公开了一种钛材质坩埚的洗净再生方法，涉及OLED面板生产技术领域，本发明包括如下步骤:受入检查：对钛材质坩埚本体进行完整性检查，确定膜层残余量；化学药水浸泡处理；纯水冲洗清理：使用纯水冲洗药水浸泡后的钛材质坩埚本体，去除坩埚表面浮灰和杂质；预干燥处理：使用气枪吹扫经过纯水冲洗的钛材质坩埚本体表面，去除表面水分，放入干燥箱中干燥；高温烘烤处理：对预干燥处理后的钛材质坩埚本体进行高温烘烤处理；纯水浸泡作业：将经过高温烘烤处理的钛材质坩埚本体放入纯水中浸泡；烘干包装：将纯水浸泡后的钛材质坩埚本体烘干并包装待用，具有有效清理坩埚残膜同时降低坩埚损耗的优点。
声明：
“钛材质坩埚的洗净再生方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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