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喷砂砂刻批量生产微流控芯片工艺

999   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:20:19
本发明公开了一种喷砂砂刻批量生产微流控芯片工艺，具体包括以下步骤：S1：原材：对原材料进行清洗并干燥；S2：涂胶：在材料表面涂装或者封装感光类薄膜；S3：光刻：在材料表面光刻出需要砂刻的微流控通道图形；S4：观影：经过图形现影法，露出原材料的表面；S5：喷砂：将材料用治具定位装夹在喷砂机上进行喷砂；S6：检验：对喷砂完成后的材料进行检验是否合格。本发明公开的喷砂砂刻批量生产微流控芯片工艺具有安全环保，以砂粒取代剧毒、有毒化学物质，喷射蚀刻取代传统药水浸泡蚀刻的方式，更加安全环保，并且成本交底，且具备量产性，在密闭的工作腔内，可快速批量加工出微流控图形的技术效果。
声明：
“喷砂砂刻批量生产微流控芯片工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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