本发明公开了一种基于玻璃材质单个微/纳米孔的制备方法,首先在玻璃毛细管上采用
电化学电火花复合加工方法刻蚀一个凹坑,然后在凹坑之外的部分用热缩管或固体石蜡进行包封,最后在进行微/纳米孔刻蚀过程中,采用电化学工作站监测通过单个微/纳米孔中离子电流的大小,在不同终止电流时停止化学刻蚀可以获得不同直径的单个微/纳米孔。本发明方法制备工艺简单易行,制作过程易于控制,对设备无特殊要求,获得的微/纳米孔具有孔径大小可控、坚实稳固、孔形形貌和物化性能良好等优点。
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