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金刚石红外增透滤光窗口及其制备方法

1087   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:20:18
本发明是一种金刚石红外增透滤光窗口及其制 备方法。目前金刚石薄膜窗口透光波段的研究及应用局限在 2.5—25μm范围, 使用中受到限制。本发明用电子束辅助热灯 丝化学气相沉积方法; 两步法高密度成核金刚石优化生长工艺 多光束干涉法薄膜厚度监控, 克服了光在近红外波段的散射问 题, 研制成功具有光学镜面级表面的金刚石薄膜, 制得的窗口用 于近红外(1.1—1.8μ)探测器, 灵敏可靠, 抗高温, 抗腐蚀, 抗水, 抗 尘, 坚硬耐磨, 维护方便。
声明：
“金刚石红外增透滤光窗口及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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