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碳纳米管阵列有机污染物传感器及用途

723   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:20:17
本发明揭示了一种碳纳米管阵列有机污染物传感器及用途,先利用化学气相沉积或交流电泳的方法在衬底上制成金属性和半导体性混合的定向单壁碳纳米管阵列;继而采用过载电流烧毁碳纳米管阵列中的金属性碳纳米管并采用金属纳米颗粒修饰所得到的半导体性碳纳米管阵列;最后在金属纳米颗粒修饰后的碳纳米管阵列表面光刻或金属膜沉积交叉指电极。该传感器完全是半导体碳纳米管阵列结构,具有实现室温环境下场效应的性能,能够提高器件对各种有机分子的识别和选择性,可用于对室内外或太空中NO、NO2及苯系物有机污染气体的灵敏探测。
声明：
“碳纳米管阵列有机污染物传感器及用途” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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