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制程工艺参数的反馈控制方法

820   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:20:17
本发明提供了一种制程工艺参数的反馈控制方法，应用于化学机械研磨工艺，包括：获取一待研磨晶圆的第一产品信息并发送至自动化程序控制设备；先进工艺控制设备根据第一产品信息以及一标准研磨速率处理获得待研磨晶圆的研磨时间并反馈至自动化程序控制设备；自动化程序控制设备根据研磨时间生成调节指令化学机械研磨设备，根据调节指令调节待研磨晶圆的研磨时间；在当前的待研磨晶圆研磨完成后，获得研磨完成后的晶圆的金属膜厚度的量测值；先进工艺控制设备根据量测值处理获得研磨速率，将处理获得的研磨速率配置为标准研磨速率。其技术方案的有益效果在于，可有效解决导致金属膜偏差问题，以达到先进工艺对金属膜研磨制程工艺的要求。
声明：
“制程工艺参数的反馈控制方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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