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MEMS器件及制备方法、电子装置

821   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:20:17
本发明提供了一种MEMS器件及制备方法、电子装置。所述MEMS器件包括：基底；振动膜，位于所述基底的上方，其中，所述振动膜包括位于外侧的固定区域和位于中间的振动区域，所述固定区域中与所述振动区域相连接的部分呈锥形结构；背板，位于所述振动膜的上方；空腔，位于所述振动膜和所述背板之间。所述振动膜，不仅仅解决掉落测试(drop test)的振动膜(VP poly)破碎的问题。同时把振动膜的固定区域(VP anchor)安放在到基底上而不是氧化物(oxide)上面，解决BOE刻蚀的间隙底切问题(Gap under cut issue)，同时也增大了BOE的工艺窗口，降低了电化学效应影响(galvanic effect impact)。
声明：
“MEMS器件及制备方法、电子装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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