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基于MXene/SnO2异质结的无源无线氨气气体传感器及制备方法

889   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:17:31
本发明属于电子元器件技术领域，涉及基于MXene/SnO2异质结的无源无线氨气气体传感器及制备方法。所述的无源无线氨气气体传感器包括电感部分和无线谐振天线，无线谐振天线主要由气敏材料和无线叉指电极组成，气敏材料涂覆在叉指电极表面，涂覆厚度为1～100μm；气敏材料为层状MXene/SnO2异质结材料。本发明采用化学腐蚀法获得一种层状结构的MXene材料，采用水热法得到MXene/SnO2异质结材料。本发明制备得到的是一种无源功耗低、无线易测量，响应/恢复时间快、易于与其他微电子器件集成等优点的无源无线氨气气体传感器。
声明：
“基于MXene/SnO2异质结的无源无线氨气气体传感器及制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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化学分析
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