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大面积光学质量合成多晶金刚石窗户

1108   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:17:31
本发明涉及一种多晶化学气相沉积的(CVD)金刚石晶圆，其包括：最大线性尺寸等于或大于70mm；厚度等于或大于1.3mm；以及在室温(标称的298K)下测量的、多晶CVD金刚石晶圆的至少中心区域上的以下特征中的一个或两个：在10.6μm下吸收系数≤0.2cm-1；和在145GHz下介电损失系数为tanδ≤2×10-4，所述中心区域是圆形的，以多晶CVD金刚石晶圆的中心点为中心，并且具有的直径为多晶CVD金刚石晶圆的最大线性尺寸的至少70％。
声明：
“大面积光学质量合成多晶金刚石窗户” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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