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二维硫化钨基垂直异质结构材料的制备方法

596   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:17:30
本发明属于纳米材料制备技术领域，公开了一种二维硫化钨基垂直异质结构材料的制备方法。所述硫化钨基垂直异质结构的制备方法为：采用化学气相沉积法，以Si/SiO2为衬底，磁控溅射的Mo/W薄膜为Mo、W源，与硫蒸气反应，在Mo/W薄膜附近三个不同区域制备得到WS2基垂直异质结构，即WS2/MoS2、WS2/MoS2‑Mo0.42W0.58S2、WS2/Mo1‑xWxS2(0≤x≤0.75)。所得WS2基垂直异质结构的形貌为两种不同尺寸的晶体堆叠而成的三角形，可作为晶体管的沟道材料应用于超薄电子器件领域。本发明所述制备方法选用磁控溅射的Mo/W超薄薄膜作为Mo、W源，通过Mo、W源蒸发温度的差异和有效蒸发面积的不同，以及随时间和距离变化的Mo、W源的浓度分布，成功实现二维WS2基垂直异质结构的组分调变。所述WS2基垂直异质结构具有可调的发射光波长，在光探测器件中有潜在的应用价值。
声明：
“二维硫化钨基垂直异质结构材料的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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