本发明提供了一种基于
石墨烯的标准漏孔及制备方法,用以解决现有技术中检漏系统校准时漏率不稳定、存在泄漏的问题。所述基于石墨烯的标准漏孔包括气源室、渗氦组件和金属刀口法兰,渗氦组件包括渗透部和固定部,气源室与渗透部一侧连通,渗透部另一侧与待校准检漏系统的真空室连通,且两侧连通处均通过金属刀口法兰密封;渗透部依次由垂直于固定部的压力侧石英玻璃、铜箔、石墨烯薄膜和真空侧石英玻璃贴合组成;石墨烯薄膜为多孔或有缺陷的石墨烯;铜箔的压力侧贴合有石墨烯薄膜,真空侧具有化学腐蚀形成的通孔。本发明消除了漏孔的气体泄漏,提高了漏率的稳定性;且漏率达10
‑14Pa·m
3/s,提高了质谱检漏的校准准确度和精度。
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