本发明提供了一种Bi0.96Sr0.04Fe0.98?xMnxCo0.02O3多铁薄膜及其制备方法。以硝酸盐和醋酸锰等为原料,乙二醇甲醚和醋酸酐为溶剂。在基片上采用旋涂法和逐层退火的工艺制备了Bi0.96Sr0.04Fe0.98?xMnxCo0.02O3多铁薄膜。本发明采用溶胶-凝胶工艺,设备要求简单,适宜在大的表面和形状不规则的表面上制备薄膜,制备的薄膜均匀性较好,且化学组分精确可控。通过离子掺杂,有效地提高了薄膜的铁电和铁磁性能。该薄膜在最大测试电场为700kV/cm的电场下,剩余极化强度为102~170μC/cm2,矫顽场为290~463kV/cm;室温下,该薄膜的饱和磁化值为2.85~3.8emu/cm3,剩余磁化值为0.38~0.5emu/cm3。
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