该实用新型涉及供液装置,能够提升液体化学品在传输过程中的流量测量准确度,提升传输的稳定性,提升使用效果。为解决上述技术问题,以下提供了一种供液装置,包括:供液箱,用于提供待运送的液体化学品;供液管路,用于连通所述供液箱以及目标机台,以将所述供液箱内的液体化学品运输到所述目标机台;排泡管路,一端连通至所述供液管路,另一端用于连通至外界,以排出所述供液管路内运输的液体化学品内的气泡。
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