合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 可精细控制温度的晶圆加热系统

可精细控制温度的晶圆加热系统

656   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:17:29
本发明公开了一种用于在制造半导体器件中处理晶圆的方法和系统，其中，化学反应需要设置化学品和晶圆加热。将晶圆放置在晶圆加热器之上，从而使第二表面面对晶圆加热器，并且从第二表面加热晶圆。化学层形成在相对的第一表面上。设置晶圆加热器的尺寸并且将晶圆加热器配置为能够加热整个第二表面，并且如果需要，晶圆加热器适合于产生局部不同的温度分布。在加热期间，可以监测晶圆上的实际温度分布且将实际温度分布传输至计算系统，计算系统可以产生目标温度分布并且根据目标温度分布控制晶圆加热器以调整晶圆上的局部温度。用于加热化学品的辅助加热器可以用于更精细地控制晶圆温度。
声明：
“可精细控制温度的晶圆加热系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：香蒲纤维及其制备方法
下一个：新型锌镍电池负极材料的制备及应用

与 “可精细控制温度的晶圆加热系统” 相关技术

▪ 选矿数字化采集装备和化验AI自动化装备
▪ 基于矿浆体系固-液界面化学调控的矽卡岩型白钨矿浮选调控技术
▪ 对转炉渣进行脱磷的方法
▪ Xilun直接还原法
▪ 露天矿无人采矿装备及智能管控一体化关键技术
▪ CTX快速磁翻转高场强磁滚筒
▪ 电解锰渣制备绿色免烧胶凝建材技术
▪ 智能撬装式氩气回收装备
▪ 烟气低温SCR脱硝技术
▪ 闪速流态化焙烧设备制备高活性稀土化合物

相关化学分析设备推荐

土壤湿度监测仪
土壤墒情自动监测站
恒美HM-TYB土壤测试仪价格
数显土壤紧实度测定仪
便捷式土壤重金属检测仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪选矿数字化采集装备和化验AI自动化装备
▪基于矿浆体系固-液界面化学调控的矽卡岩型白钨矿浮选调控技术
▪对转炉渣进行脱磷的方法
▪Xilun直接还原法
▪露天矿无人采矿装备及智能管控一体化关键技术
▪CTX快速磁翻转高场强磁滚筒
▪电解锰渣制备绿色免烧胶凝建材技术
▪智能撬装式氩气回收装备
▪烟气低温SCR脱硝技术
▪闪速流态化焙烧设备制备高活性稀土化合物

报名参会
更多+

2024胶凝材料制备与应用技术交流会
2024胶凝材料制备与应用技术交流会
2024年08月07日 ~ 09日
2024先进陶瓷材料制备加工与应用交流会
2024先进陶瓷材料制备加工与应用交流会
2024年08月08日 ~ 10日
第十一届中国铝工业科学技术发展大会
第十一届中国铝工业科学技术发展大会
2024年08月13日 ~ 15日
富矿精开科技创新研讨会
富矿精开科技创新研讨会
2024年08月14日 ~ 16日
第三届全国难熔金属及硬质合金技术研讨会
第三届全国难熔金属及硬质合金技术研讨会
2024年08月30日 ~ 09月01日

报告下载

1 实验室管理与实践
下载:54
2 化学实验室暖通系统设计新趋势
下载:50
3 矿产品样品制备要点与难点分析
下载:46
4 质检部门风险防控管理的探讨 （矿
下载:42
5 ICP-MS/MS测定有色金属中
下载:38
6 电位滴定仪在有色金属分析的应用
下载:34
7 电位滴定法在北矿检测实验室的应
下载:33
8 浅谈检验检测风险防控管理及要点
下载:33
9 金精矿制样与分析方法的研究
下载:32
10 国家标准《铜精矿及主要含铜物料
下载:32
第一届矿产品采样与制样技术研讨会
推广

热门技术
更多+

1水电站的尾水预埋件
2压力平衡机构
3防爆阀保护膜
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记