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制绒/刻蚀溶液的循环利用方法

1042   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:17:29
本发明公开了一种制绒/刻蚀废液的循环利用方法,含以下步骤:(1)测试制绒/刻蚀废液中H2SiF6的浓度,根据计量比加入化学试剂与H2SiF6反应生成氟硅酸盐沉淀,过滤回收氟硅酸盐沉淀;(2)取滤液测试其中亚硝酸和/或氮氧化物的浓度,加入氧化剂将亚硝酸和/或氮氧化物转化为硝酸;(3)测试制绒/刻蚀废液中各组分的浓度,根据晶体硅制绒/刻蚀所需的化学配比,补充加入各组分,使制绒/刻蚀溶液能够重复利用。该方法能够将制绒/刻蚀废液重新回收利用,大大降低了氟排放以及氮氧化物排放,具有巨大的经济性和环保性,具有较大的推广应用价值。
声明：
“制绒/刻蚀溶液的循环利用方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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