本实用新型揭示了一种母盘基板玻璃的钢化设备,包括:预检装置、预热装置、离子交换装置、冷却装置、后检验装置。预检装置检验母盘基板玻璃的直径和厚度。预热装置加热母盘基板玻璃。离子交换装置从预热装置接收经加热的母盘基板玻璃,离子交换装置包括容纳母盘基板玻璃的装有熔盐的交换池。冷却装置从离子交换装置接收母盘基板玻璃,冷却母盘基板玻璃。后检验装置检验母盘基板玻璃的平面度、平行度和粗糙度。本实用新型的母盘基板玻璃的钢化设备对母盘基板玻璃进行化学钢化后,不但玻璃表面的强度达到指标,包括平面度、平行度和粗糙度在内的光学指标也能满足母盘基板玻璃的要求。
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