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用于SECCM高分辨成像的探针单元和控制方法

1014   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:17:28
本发明属于电化学技术领域，公开了一种用于SECCM高分辨成像的探针单元和控制方法，探针单元包括单通道的探针，探针的开孔直径为50‑100nm；探针由控制模块对其液滴针尖进行控制；控制模块用于进行如下控制方法：在进针过程增设最小化的进针电压校正，在进针过程增设最小化的进针速度校正，在电化学测试过程增设最小化的测试电压校正，以及在抬针过程增设最小化的抬起高度校正。本发明极大的提高了成像过程中的稳定性，为实现高分辨的成像提供了更大的可能性；并且不需要添加额外的硬件设备，避免仪器设备成本的过高增加。测试表明，本发明能够成功得到40‑50nm尺寸样品的高分辨形貌图像，已达到国际领先水平。
声明：
“用于SECCM高分辨成像的探针单元和控制方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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