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光吸收层系统、其生产及适用于其的溅射靶材

598   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:14:38
本发明涉及一种光吸收层系统，其包括至少两个层，其中一个层为由介电材料制成的面向观测者的抗反射层，且其中至少一个其他层为由具有亚化学计量氧含量的氧化物或氮氧化物制成的背对所述观测者的吸收层。所述层系统在380nm至780nm的波长范围内具有大体上小于20％的可视透射Tv、小于6％的可视反射Rv和超过10k?Ohm的层电阻Rγ。
声明：
“光吸收层系统、其生产及适用于其的溅射靶材” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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