本发明公开一种氮化铝陶瓷基板表面粗化方法,包括如下步骤:步骤一,通过除油剂和纯水去除氮化铝陶瓷基板表面的油污和杂质,测试氮化铝陶瓷基板的表面粗糙度,依据表面粗糙度的测试结果确定后续化学粗化程度;步骤二,将经步骤一处理过的氮化铝陶瓷基板浸没于15%‑25%质量分数的NaOH溶液中;步骤三,将步骤二处理过的氮化铝陶瓷基板放置于1%‑3%质量分数的稀H
2SO
4溶液中,处理5s‑10s,温度控制在15℃‑25℃;步骤四,将步骤三处理过的氮化铝陶瓷基板加压水洗,常温,时间为3min;步骤五,将步骤四处理过的氮化铝陶瓷基板烘干。有效解决现有AMB真空钎焊氮化铝陶瓷基板与焊料层结合不良的技术问题。
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