合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 平坦化基底的方法

平坦化基底的方法

856   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:14:38
本发明的实施例改进基底的平坦度,其中基底的平坦度对于图案化和良率的提升相当的重要。在达到最终厚度或研磨所有的薄膜之前,使用化学机械研磨法平坦化基底。之后测量基底的轮廓和薄膜厚度,气体团簇离子束(gas?cluster?ion?beam,GCIB)蚀刻装置使用测量到的基底轮廓和薄膜厚度数据,决定在特定的位置要移除多少薄膜。气体团簇离子束蚀刻移除最终的层,使其符合基底均匀度和厚度目标的需求。此机制改进平坦度,以符合先进技术的需求。
声明：
“平坦化基底的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：使用组合的耐久性和阻燃性的木材和工程化木制品的增强性能
下一个：根据压力机的操作环境及/或坯料的物理状态来优化压力机的操作条件的方法和设备

与 “平坦化基底的方法” 相关技术

▪ 辉锑矿基纳米材料及其制备方法与应用
▪ 用于电池锂带的双面离型层离型膜的制备方法和应用工艺
▪ 高容量寡片石墨烯及其低温制备方法
▪ 氢燃料电池储氢介质的切换方法、系统及设备
▪ 干选精矿选矿筛分装置及其筛分方法
▪ 钨矿选矿筛分装置及方法
▪ 冶金固废高附加值综合利用技术分析
▪ 圆锥破碎机进料斗的防尘布料装置
▪ 空间用多结太阳电池及其制备方法
▪ 用于固态电池的复合层合结构及其制备方法

相关化学分析设备推荐

土壤墒情监测系统方案
手动土壤采样器综合套装
CIT-3000SMD(A) X荧光分析仪
JC-ZJS07土壤重金属检测仪
专业土壤墒情速测仪 土壤监测仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪辉锑矿基纳米材料及其制备方法与应用
▪用于电池锂带的双面离型层离型膜的制备方法和应用工艺
▪高容量寡片石墨烯及其低温制备方法
▪氢燃料电池储氢介质的切换方法、系统及设备
▪干选精矿选矿筛分装置及其筛分方法
▪钨矿选矿筛分装置及方法
▪冶金固废高附加值综合利用技术分析
▪圆锥破碎机进料斗的防尘布料装置
▪空间用多结太阳电池及其制备方法
▪用于固态电池的复合层合结构及其制备方法

报名参会
更多+

2024全国海工装备及高技术船舶材料技术交流会
2024全国海工装备及高技术船舶材料技术交流会
2024年12月06日 ~ 08日
2024磷资源高值利用创新发展论坛暨第二届磷酸锰铁锂技术交流会
2024磷资源高值利用创新发展论坛暨第二届磷酸锰铁锂技术交流会
2024年12月13日 ~ 15日
特种粉末冶金及复合材料制备/加工第八届学术会议
特种粉末冶金及复合材料制备/加工第八届学术会议
2024年12月27日 ~ 29日
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025年01月03日 ~ 05日
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:135
2 取、制样安全浅析
下载:121
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:97
4 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:91
5 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:91
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:89
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:86
8 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:83
9 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:83
10 制样室装修设计技巧
下载:81
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记