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用于研磨的无机氧化物颗粒淤浆及调节所述颗粒的磨蚀性的方法

837   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:14:38
用压热器处理多孔的、无机氧化物颗粒的淤浆,所述处理方法导致所述颗粒的磨损性增加,表现为当按标准抛光条件进行化学机械抛光时,被抛光基材的除去速率增加。本发明提供了具有新型磨损性的淤浆,具体地说,是以二氧化硅为基础的淤浆。颗粒磨损性的增加与颗粒表面积的减少有很大关系,其中表面积由氮气吸附法测定(BET法)。因此,通过采用加热无机氧化物颗粒的淤浆使其达到某BET表面积的方法可获得具有符合要求的磨损度的淤浆,而已经证实,BET法测定的比表面积与所需的磨损度有关。所得的淤浆可用于传统的抛光机。所述方法特别适合制备以二氧化硅为基础的研磨淤浆。
声明：
“用于研磨的无机氧化物颗粒淤浆及调节所述颗粒的磨蚀性的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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