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晶态α和β相氮化碳薄膜材料及其制备方法

855   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:14:37
本发明 涉及化学汽相沉积技 术领域，特别是涉及用 化学沉积法合成超硬 度的晶态C3N4材料及 其方法，本发明的目的 在于制备一种理论预 测到的新超硬晶态α 和β相氮化碳材料，和 提供一种用偏压辅助 热丝化学气相沉积法 生长晶态C3N4材料的 方法，该方法工艺简单， 易于掌握扩大工业生产。
声明：
“晶态α和β相氮化碳薄膜材料及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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