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多晶硅还原炉内硅棒生长速率预估模型

767   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:14:37
本发明公开了一种多晶硅还原炉内硅棒生长速率预估模型，包括数据采集及预处理模块，用于通过传感器采集与硅棒生长速率相关的数据，并对采集的数据进行数据清洗；数据集筛选模块，用于对数据采集模块经过数据采集、数据清洗后的数据集进行筛选，得到训练集和测试集；训练和评估模块，用于对梯度提升决策树模型进行训练，利用平均相对误差以及合格率对模型进行评估，待预测模块，用于输入待预测特征向量；预测结果模块，用于将所述的待预测特征向量输入到预测模型中，输出预测结果。本发明摒弃了传统的理论研究中复杂化学反应对生长速率的影响，不用考虑繁复的化学反应，实现了对多晶硅生长速率的预估，为提高生产效率，缩短生产周期提供指导。
声明：
“多晶硅还原炉内硅棒生长速率预估模型” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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