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生产金钢石的装置和方法

997   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:14:36
一种在沉积室内生产金刚石的装置,包括:用于夹持金刚石并与金刚石的邻近于其生长面的一边的侧面热接触的散热夹具;设置用来测量沿金刚石生长面的温度的非接触式温度测量装置;和用于接收来自上述非接触式温度测量装置的温度测量数据并控制生长面的温度使沿生长面的所有温度梯度小于20℃的总过程控制器。一种生产金刚石的方法,包含如下步骤:在夹具内安置金刚石使之与金刚石的邻近于其生长面的一边的侧面热接触,测量金刚石生长面的温度并得出温度测量数据;根据上述温度测量数据控制生长面的温度;和在生长面上按微波等离子化学蒸气沉积法生长单晶金刚石,其中,金刚石生长速率大于1μm/h。
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“生产金钢石的装置和方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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