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反应室装置和用于形成反应室装置的方法

925   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:14:36
提供了一种反应室装置和用于形成反应室装置的方法，所述反应室装置包括：第一化学反应室；第二化学反应室；第一化学反应室与第二化学反应室之间的隔离件，其中，第一电极安装在隔离件的第一侧上，第一电极的暴露表面面向第一化学反应室，其中，第二电极安装在隔离件的第二侧上，第二电极的暴露表面面向第二化学反应室；以及电子元件，被配置成测量或控制第一化学反应室和第二化学反应室的至少其中之一，其中，所述电子元件设置于第一电极和第二电极之间并与所述第一电极和所述第二电极连接，并且至少部分地被隔离件的隔离材料包围。
声明：
“反应室装置和用于形成反应室装置的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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