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气体敏感霍尔设备

996   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:14:36
本发明涉及气体敏感霍尔设备。本文描述了化学敏感霍尔设备。根据本发明的一个示例，霍尔设备包括衬底和布置在衬底上的化学敏感层。化学敏感层能够与气态或液体流体的原子或分子相互作用。力电极连接到化学敏感层，以用于沿第一方向将传感器电流馈送通过化学敏感层。感测电极连接到化学敏感层，以沿第二方向分接化学敏感层处的霍尔电压。背栅布置在衬底上或集成在衬底中，并且通过隔离层与化学敏感层隔离。
声明：
“气体敏感霍尔设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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