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柔性薄膜NI电阻传感器及其制备方法

964   编辑：管理员   来源：中冶有色网  
2023-03-19 08:14:35
一种柔性基体薄膜镍电阻传感器,包括基片、附在基片上的电阻线、焊接盘,采用在耐高温聚酰亚胺薄膜基片上,用真空蒸发NI膜的方法制得导电层后,再用电化学方法加厚NI膜,用光刻方法制成电阻器图案,经过再次用电化学方法调整阻值、涂覆保护层、固化和老化处理、装入相应金属夹持框而成。具有响应速度快,价格低廉,制作方法简单易行,解决了批量生产中保持器件性能一致且稳定可靠的问题,尤其适用于汽车进气热线式流量计和其他要求快速响应的热电阻测试系统中。
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