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提高n型氧化亚铜薄膜载流子浓度的热处理方法

857   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:14:35
本发明公开了一种提高n型氧化亚铜薄膜载流子浓度的热处理方法。该方法的步骤如下:将电化学沉积制备所得的n型氧化亚铜薄膜放入热处理炉中进行除碳;将热处理炉温度升高至120?C至150?C,保温1~2小时;除碳过程后,将热处理炉温度升至300?C至400?C,保温1~2小时;热处理后,热处理炉温度自然降温至常温,将n型氧化亚铜薄膜取出并进行测试。本发明是对电化学沉积的n型氧化亚铜薄膜进行先除碳,再热处理的方法。通过除碳过程,可以去除在沉积过程中n型氧化亚铜薄膜中的有机杂质,然后对氧化亚铜薄膜进行热处理,通过控制热处理温度与时间,提高n型氧化亚铜薄膜载流子浓度。
声明：
“提高n型氧化亚铜薄膜载流子浓度的热处理方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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