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CVD方法制备硫化锌过程中的压力自动控制系统

697   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:14:35
一种CVD方法制备硫化锌过程中的压力自动控制系统，包括化学气相沉积炉，该化学气相沉积炉连接有压力智能监测表；该化学气相沉积炉顶部设有尾气管路，该尾气管路连接真空泵；该化学气相沉积炉与该真空泵之间的尾气管路上设置有线性定位阀门；该压力智能监测表与可编程PID智能调节仪的信号输入端连接，该可编程PID智能调节仪的信号输出端与该线性定位阀门连接。本实用新型通过控制整个化学气相沉积过程的压力，使实际压力始终保持在设定范围内，实现沉积系统的稳定性和可控性。
声明：
“CVD方法制备硫化锌过程中的压力自动控制系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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